鉭顆粒
鉭是一種稀有的金屬元素,以其出色的耐腐蝕性、高熔點(diǎn)和生物相容性而聞名。鉭靶材是由高純度的鉭金屬或鉭合金制成的,主要用于各種薄膜沉積工藝中。在這些工藝中,鉭靶材通過(guò)物**相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)成為薄膜材料的重要來(lái)源。鉭靶材的使用覆蓋了從電子和半導(dǎo)體制造到防腐蝕涂層和醫(yī)療設(shè)備等多個(gè)高科技領(lǐng)域。
啟恒有色(洛陽(yáng))新材料有限公司對(duì)鉭顆粒有嚴(yán)格的質(zhì)量控制,以確保其純度、結(jié)構(gòu)和均勻性符合標(biāo)準(zhǔn)。
我公司鉭顆??梢愿鶕?jù)特定應(yīng)用需求制成多種形狀和尺寸。
其主要結(jié)構(gòu)特征包括:
高純度:通常超過(guò)99.9%,有時(shí)甚至達(dá)到99.999%。高純度確保了在薄膜沉積過(guò)程中不會(huì)引入不需要的雜質(zhì)。
均勻性:鉭顆粒必須具有均勻的微觀結(jié)構(gòu),以確保在薄膜沉積過(guò)程中材料分布的均勻性。
高密度:密度的均勻性對(duì)于確保沉積過(guò)程中的穩(wěn)定性至關(guān)重要。
鉭顆粒廣泛應(yīng)用于以下幾個(gè)領(lǐng)域:
電子和半導(dǎo)體行業(yè):鉭薄膜常用于集成電路(IC)制造中的阻擋層材料,特別是在銅互連技術(shù)中。鉭的高熔點(diǎn)和低電阻使其成為理想的材料選擇。
防腐蝕涂層:由于鉭的優(yōu)異耐腐蝕性,它被用于涂覆化工設(shè)備和暴露在極端環(huán)境中的金屬表面,延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
光學(xué)和光電子薄膜:鉭靶材可用于制造具有特定光學(xué)特性的薄膜,這些薄膜廣泛用于光學(xué)設(shè)備、顯示器和傳感器。
醫(yī)療設(shè)備:鉭具有良好的生物相容性,適用于涂覆醫(yī)療植入物,如骨板和關(guān)節(jié)假體,減少人體排斥反應(yīng)。
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